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陶瓷研磨盘

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浏览:- 发布日期:2020-05-18 17:14:25【

产品描述

用于半导体硅片研磨、单晶硅的加工领域等

产品特点

目前,采用陶瓷研磨盘研磨半导体硅片是优越最前沿的研磨方法。采用双面研磨工艺对切割好的硅片进行研磨,通过改善研磨工艺(磨盘材质、研磨液、研磨压力及研磨转速等)来提高研磨片的质量;尤其是使用陶瓷盘代替铸铁盘,避免研磨时对晶片的主面造成伤痕或污染,减少了金属离子的引入,可减少硅片的后续加工量,缩短了后续工序(腐蚀)时间,提高了生产效率,而且减少了硅片加工的损耗,提高了硅片的利用率。

产品图片

P004

P005

P001

性能

顺鹏陶瓷

国内水平

国外水平

密度(g/cm3

3.97

3.81-3.93

3.9-3.94

纯度(%

99.9

98-99.8

99.5-99.9

维氏硬度(GPa

17

14-15

16-17.5

三点抗弯强度(MPa)

520

300-350

330-400

 

产品规格

∅850mm、厚45mm以下的高纯氧化铝圆盘、园环(尺寸可以定制)

顺鹏优势

我司还可以生产以下规格的高端陶瓷:

11500×600×25mm以下的长板、长条、方板、薄板;

21000×45×45mm以下的导轨;

3∅300×500mm以下的空管、圆柱体、电真空管等

4、各种形状的异形件定制产品

我们的产品已出口到澳大利亚、智利、南非、美国、俄罗斯、日本、印度尼西亚等国家,顺鹏可提供耐磨陶瓷技术解决方案,将提供适合您要求的产品和优质服务。

网址:www.chemshun.cn.联系方式:13879937296/0799-2181608


 

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