产品描述
用于半导体硅片研磨、单晶硅的加工领域等
产品特点
目前,采用陶瓷研磨盘研磨半导体硅片是优越最前沿的研磨方法。采用双面研磨工艺对切割好的硅片进行研磨,通过改善研磨工艺(磨盘材质、研磨液、研磨压力及研磨转速等)来提高研磨片的质量;尤其是使用陶瓷盘代替铸铁盘,避免研磨时对晶片的主面造成伤痕或污染,减少了金属离子的引入,可减少硅片的后续加工量,缩短了后续工序(腐蚀)时间,提高了生产效率,而且减少了硅片加工的损耗,提高了硅片的利用率。
产品图片
化学指标
性能 |
顺鹏陶瓷 |
国内水平 |
国外水平 |
密度(g/cm3) |
3.97 |
3.81-3.93 |
3.9-3.94 |
纯度(%) |
99.9 |
98-99.8 |
99.5-99.9 |
维氏硬度(GPa) |
17 |
14-15 |
16-17.5 |
三点抗弯强度(MPa) |
520 |
300-350 |
330-400 |
产品规格
∅850mm、厚45mm以下的高纯氧化铝圆盘、园环(尺寸可以定制)
顺鹏优势
我司还可以生产以下规格的高端陶瓷:
1、1500×600×25mm以下的长板、长条、方板、薄板;
2、1000×45×45mm以下的导轨;
3、∅300×500mm以下的空管、圆柱体、电真空管等
4、各种形状的异形件定制产品
我们的产品已出口到澳大利亚、智利、南非、美国、俄罗斯、日本、印度尼西亚等国家,顺鹏可提供耐磨陶瓷技术解决方案,将提供适合您要求的产品和优质服务。
网址:www.chemshun.cn.联系方式:13879937296/0799-2181608。